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Insight into acetylene plasma deposition using molecular dynamics simulations

乙炔 等离子体 分子动力学 沉积(地质) 材料科学 化学物理 纳米技术 化学工程 化学 计算化学 物理 有机化学 工程类 核物理学 地质学 古生物学 沉积物
作者
Pascal Brault,Marisol Ji,Dario Sciacqua,Fabienne Poncin-Epaillard,Johannes Berndt,Eva Kovacevic
出处
期刊:Plasma Processes and Polymers [Wiley]
卷期号:19 (1): 2100103-2100103 被引量:2
标识
DOI:10.1002/ppap.202100103
摘要

Molecular dynamics simulations are carried out for studying growth and properties of polymers from pure acetylene plasma. Mixture of H, C2H and C2H2 is the initial composition for running the molecular dynamics simulations. Resulting films are characterized by characterizing bond order, [H]/[C] ratio and simulated infrared spectrum. The latter is qualitatively compared with three different experiments: IR peak identification and positions are recovered.
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