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Role of the substrate on the growth of silicon quantum dots embedded in silicon nitride thin films

硅 材料科学 基质（水族馆） 热解炭 氮化硅 薄脆饼 机车 量子点 薄膜 化学气相沉积 应变硅 化学工程 光电子学 纳米技术 晶体硅 热解 工程类 地质学 海洋学 非晶硅
作者
Arturo Rodríguez‐Gómez,Marisa Moreno-Ríos,R. Garcı́a-Garcı́a,Ana Laura Pérez-Martínez,J. Reyes‐Gasga
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2018-02-06 卷期号：208: 61-67 被引量：13
标识
DOI：10.1016/j.matchemphys.2018.01.032
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