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Alternative dielectrics to silicon dioxide for memory and logic devices

微电子 二氧化硅 硅 电介质 晶体管 工程物理 计算机科学 材料科学 光电子学 制作 电气工程 纳米技术 工程类 电压 病理 冶金 替代医学 医学
作者
Angus I. Kingon,Jon‐Paul Maria,S. K. Streiffer
出处
期刊：Nature [Nature Portfolio]
日期：2000-08-01 卷期号：406 (6799): 1032-1038 被引量：1243
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/35023243
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