Fast rigorous mask model for extreme ultraviolet lithography

极紫外光刻 光学 极端紫外线 衍射 平版印刷术 菲涅耳衍射 物理 衍射效率 摄影术 材料科学 激光器
作者
Zinan Zhang,Sikun Li,Xiangzhao Wang,Wei Cheng
出处
期刊:Applied Optics [The Optical Society]
卷期号:59 (24): 7376-7376 被引量:7
标识
DOI:10.1364/ao.399323
摘要

The calculation of extreme ultraviolet (EUV) mask diffraction spectrum is the key of EUV lithography simulation. In this paper, a fast rigorous EUV mask model is proposed to calculate the diffraction spectrum fast and accurately. Based on the mask structure decomposition method, the relationship among the region diffraction, the boundary diffraction of the absorber, and the direction of incident light is analyzed at first. Then the frequency-domain functions related to angle of incidence and diffraction angle are established to model the geometrical and boundary diffraction of the absorber. The fast rigorous EUV mask model is established by combining the equivalent layer multilayer model based on the Fresnel formula and the accurate absorber model. Simulations and comparisons show the effectiveness of the proposed model. For the 14 nm vertical line-space pattern, the calculation errors of critical dimension (CD) via the proposed model are reduced by 80.6% and 93.9% compared with the structure decomposition method for dense and isolate features.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
1秒前
3秒前
3秒前
3秒前
内向小熊猫完成签到,获得积分10
4秒前
5秒前
5秒前
烟尘之上完成签到 ,获得积分10
6秒前
7秒前
张教授发布了新的文献求助10
8秒前
林结衣完成签到,获得积分10
8秒前
阳光海云应助lgh采纳,获得10
8秒前
白白白完成签到 ,获得积分10
9秒前
科研通AI2S应助史道夫采纳,获得10
10秒前
丁明淘发布了新的文献求助30
10秒前
xiaoliu完成签到,获得积分10
11秒前
小兵发布了新的文献求助10
12秒前
陈三完成签到,获得积分10
12秒前
寂寞有声完成签到,获得积分10
13秒前
13秒前
13秒前
许多年以后完成签到,获得积分10
14秒前
lutra完成签到,获得积分20
14秒前
美好乐松应助乔心采纳,获得10
16秒前
lutra发布了新的文献求助30
17秒前
周而复始完成签到 ,获得积分10
17秒前
19秒前
20秒前
可爱的函函应助Freya采纳,获得10
21秒前
科研通AI2S应助朴素的不乐采纳,获得10
22秒前
林筱辰完成签到,获得积分10
22秒前
虫不知发布了新的文献求助30
23秒前
善学以致用应助baiyixuan采纳,获得10
24秒前
认真跳跳糖完成签到,获得积分10
24秒前
小兵完成签到,获得积分10
25秒前
汉堡包应助日常卖命采纳,获得10
25秒前
haha完成签到,获得积分10
25秒前
coolkid完成签到 ,获得积分10
26秒前
27秒前
高分求助中
Evolution 10000
юрские динозавры восточного забайкалья 800
English Wealden Fossils 700
Mantiden: Faszinierende Lauerjäger Faszinierende Lauerjäger 600
Distribution Dependent Stochastic Differential Equations 500
A new species of Coccus (Homoptera: Coccoidea) from Malawi 500
A new species of Velataspis (Hemiptera Coccoidea Diaspididae) from tea in Assam 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3157298
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2808647
关于积分的说明 7878088
捐赠科研通 2467070
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1313183
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 630369
版权声明 601919