Cutting-Based Single Atomic Layer Removal Mechanism of Monocrystalline Copper: Atomic Sizing Effect

单晶硅 图层(电子) 原子层沉积 尺寸 材料科学 机制(生物学) 化学 冶金 纳米技术 物理 量子力学 有机化学
作者
Wenkun Xie,Fengzhou Fang
出处
期刊:Nanomanufacturing and Metrology [Springer Nature]
卷期号:2 (4): 241-252 被引量:14
标识
DOI:10.1007/s41871-019-00045-3
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