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Influence of nitrogen partial pressure on optical properties of magnetron sputtered Al-Si-N thin films

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作者
Soni,S.K. Mishra,S. K. Sharma
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：2019-05-07 卷期号：682: 1-9 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2019.05.006
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