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Corrosion-life prediction model for 316 L stainless steel under electronic special gases containing trace moisture employed in semiconductor manufacturing industry

腐蚀 水分 冶金 材料科学 跟踪（心理语言学） 半导体 半导体工业 复合材料 工程类 光电子学 制造工程 语言学 哲学
作者
Zhice Yang,Chaoran Ma,Yuxin Zhang,Du Zhuoyang,Peng Zhou,Yang Zhao,Tao Zhang,Fuhui Wang
出处
期刊：Corrosion Science [Elsevier]
日期：2024-10-01 卷期号：: 112510-112510
标识
DOI：10.1016/j.corsci.2024.112510
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