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Integration of GAA Monolayer MoS2 Nanosheet FETs with Gate First Process for Future 2D CFET Scaling

纳米片 单层 缩放比例 材料科学 过程（计算） 纳米技术 光电子学 逻辑门 MOSFET 计算机科学 电子工程 晶体管 电气工程 工程类 电压 几何学 数学 操作系统
作者
Fengben Xi,Himanshu Sharma,Xiangyu Wu,T. Schram,Daire Cott,Robert K. Grubbs,Pawan Kumar,Tien Dat Ngo,Souvik Ghosh,Fei Han,Dennis H. van Dorp,Devin Verreck,Surajit Sutar,Quentin Smets,Dennis Lin,Kaustuv Banerjee,César J. Lockhart de la Rosa,Ludovic Goux,Gouri Sankar Kar
标识
DOI：10.1109/esserc62670.2024.10719449
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