清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Metal Thickness Measurement System Based on a Double-Coil Eddy-Current Method With Characteristic Ratio Detection

材料科学 化学机械平面化 涡流 涡流传感器 电磁线圈 Lift(数据挖掘) 抛光 涡流检测 观测误差 振幅 声学 复合材料 光学 电气工程 计算机科学 数学 工程类 物理 数据挖掘 统计
作者
Chengxin Wang,Tongqing Wang,Bangxu Liu,Fangxin Tian,Xinchun Lu
出处
期刊:IEEE Transactions on Industrial Electronics [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:70 (12): 12904-12912 被引量:5
标识
DOI:10.1109/tie.2023.3239881
摘要

Eddy-current sensor systems have been employed to determine the real-time thickness distribution of metal films and the thickness at endpoint detection in metal chemical mechanical polishing (CMP) processes, to achieve global planarization and avoid overpolishing or underpolishing. However, the large lift-off distance of 3.5 mm between the sensor coil and metal film gradually decreases with continuous wear of the polishing pad, which has a strong negative impact on the sensitivity and accuracy of the thickness measurement. In this study, a double-coil eddy-current sensor system, with novel characteristic ratio detection capability, is proposed for metal film thickness measurement and compared with a traditional amplitude-based method. The linear relationship between the characteristic ratio and metal film thickness that is immune to lift-off distance is demonstrated both theoretically and experimentally. The experimental results show that the proposed method performs better than the amplitude-based method, reducing the effect of lift-off distance variation and obtaining an excellent linear measurement range from 24 to 2095 nm. The measurement accuracy is as high as 2.1 nm with an excitation frequency of 1.39 MHz and a large lift-off distance of 3.5 mm. The relative measurement error is less than 1.2% and the endpoint thickness ranges from 100 to 180 nm in the Cu-CMP process, when the lift-off distance varies from 3.6 to 3.3 mm.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
墨言无殇完成签到 ,获得积分10
1秒前
传奇3应助清脆钧采纳,获得10
4秒前
16秒前
丘比特应助海藏进星辰采纳,获得10
22秒前
蝎子莱莱xth完成签到,获得积分10
22秒前
wbh发布了新的文献求助10
23秒前
辛勤的泽洋完成签到 ,获得积分10
25秒前
氢锂钠钾铷铯钫完成签到,获得积分10
29秒前
32秒前
Square完成签到,获得积分10
36秒前
46秒前
51秒前
树懒完成签到 ,获得积分10
52秒前
54秒前
鲑鱼完成签到 ,获得积分10
55秒前
习月阳完成签到,获得积分10
1分钟前
乒坛巨人完成签到 ,获得积分0
1分钟前
米奇妙妙屋完成签到,获得积分10
1分钟前
liaomr完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
celia完成签到 ,获得积分10
1分钟前
清脆钧发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
chcmy完成签到 ,获得积分0
1分钟前
livra1058完成签到,获得积分10
2分钟前
Hxq完成签到 ,获得积分10
2分钟前
阿曾完成签到 ,获得积分10
2分钟前
vitamin完成签到 ,获得积分10
2分钟前
dashi完成签到 ,获得积分10
2分钟前
无悔完成签到 ,获得积分10
2分钟前
LaTeXer应助feng采纳,获得200
2分钟前
胡国伦完成签到 ,获得积分10
2分钟前
善学以致用应助ceeray23采纳,获得20
3分钟前
wack发布了新的文献求助10
3分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
3分钟前
YifanWang应助科研通管家采纳,获得30
3分钟前
YifanWang应助科研通管家采纳,获得50
3分钟前
CipherSage应助科研通管家采纳,获得10
3分钟前
LeoBigman完成签到 ,获得积分10
4分钟前
高分求助中
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3990603
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3532220
关于积分的说明 11256532
捐赠科研通 3271057
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1805229
邀请新用户注册赠送积分活动 882302
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809234