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Effect of target current on microstructure, color and properties of titanium nitride/titanium carbonitride films via mid-frequency magnetron sputtering

材料科学 微观结构 钛 氮化钛 溅射沉积 冶金 氮化物 溅射 腔磁控管 光电子学 复合材料 薄膜 图层（电子） 纳米技术
作者
Jing Kong,Shiqi Huang,Xingang Guo,Dexin Chen,Gengzhe Shen,Zhengjian Chen,Jin Qian,Yuan Liang,Zhixin Kang,Kin Ho Lo,Chi Tat Kwok
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2025-01-07 卷期号：333: 130375-130375
标识
DOI：10.1016/j.matchemphys.2025.130375
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