The PSR effect of matching network in 8/100 MHz geometrically symmetrical capacitively coupled Ar plasma

物理 谐波 等离子体 容性耦合等离子体 波形 电容耦合 电压 原子物理学 非线性系统 等离子体诊断 联轴节(管道) 计算物理学 感应耦合等离子体 材料科学 量子力学 冶金
作者
Zhaohui Liu,Qianghua Yuan,Guiqin Yin
出处
期刊:Physics of Plasmas [American Institute of Physics]
卷期号:29 (10) 被引量:3
标识
DOI:10.1063/5.0102194
摘要

The high-order harmonics caused by the self-excitation of nonlinear plasma series resonance (PSR) in a geometrically symmetric (8 + 100) MHz capacitively coupled argon plasma are studied by using a nonlinear global model. The voltage waveforms and current waveforms measured by oscilloscope between the two electrodes are used to observe the harmonics. The voltage waveforms are used as input parameters for the nonlinear global model to simulate harmonics of the sheath charges of low-frequency electrode, bias voltage, and plasma RF current. These discharged parameters considering coupling effect between these two frequencies and without considering coupling effect are compared in (8 + 100) MHz capacitively coupled plasma with the increasing low-frequency powers at a pressure of 30 mTorr. These results indicate that the theoretical discharge behavior without considering the coupling effect has big difference from the real experiment. The PSR effect of the matching network plays an important role in modulating the plasma homogeneity. Therefore, how to design a suitable matching network to enhance the PSR effect is more meaningful for the nonlinear dynamics of plasma.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
41应助momo采纳,获得10
刚刚
长情琦完成签到,获得积分10
1秒前
1秒前
研友_yLpYkn完成签到,获得积分10
1秒前
Mr兔仙森发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
5秒前
xueyu发布了新的文献求助10
5秒前
5秒前
文献完成签到 ,获得积分10
6秒前
levicho发布了新的文献求助10
7秒前
KK发布了新的文献求助10
8秒前
9秒前
Norl_Corxilea发布了新的文献求助10
10秒前
CodeCraft应助愉快的宛儿采纳,获得10
11秒前
一方通行发布了新的文献求助10
11秒前
levicho完成签到,获得积分10
12秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
12秒前
14秒前
15秒前
Norl_Corxilea完成签到,获得积分10
16秒前
19秒前
我是老大应助Culto采纳,获得10
20秒前
22秒前
超帅青烟完成签到,获得积分10
22秒前
22秒前
科目三应助KK采纳,获得10
23秒前
Shuaibin_Pei完成签到,获得积分10
26秒前
张今天也要做科研呀完成签到,获得积分10
26秒前
shinysparrow完成签到,获得积分0
26秒前
传奇3应助LJJ采纳,获得10
27秒前
28秒前
29秒前
科研蚂蚁完成签到,获得积分10
30秒前
桃子完成签到 ,获得积分10
30秒前
魁梧的鲂发布了新的文献求助10
33秒前
健忘白应助su采纳,获得10
33秒前
Culto发布了新的文献求助10
34秒前
35秒前
猫猫完成签到,获得积分10
36秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989334
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531428
关于积分的说明 11253936
捐赠科研通 3270119
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804887
邀请新用户注册赠送积分活动 882087
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809173