Self-assembled Si/SiO2 superlattice in Si-rich oxide films

超晶格 退火(玻璃) 材料科学 溅射 氧化物 纳米技术 薄膜 光电子学 冶金
作者
Chu-Yun Hsiao,Chuan‐Feng Shih,K. W. Su,Hui-Ju Chen,Sheng-Wen Fu
出处
期刊:Applied Physics Letters [American Institute of Physics]
卷期号:99 (5) 被引量:9
标识
DOI:10.1063/1.3624706
摘要

This work involves as-prepared SiOx (x≤2) films that were deposited by reactive sputtering. The regular Si/SiO2 superlattices were self-assembled without post-annealing. The periodicity of Si/SiO2 superlattices was modulated by varying the oxygen flow rate and was associated with x in SiOx in the range 2–1.3. Si/SiO2 superlattices were formed under compressive stress and the factors that governed the periodicity were discussed.
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