发布文献求助

Tuning of resist slope with hard-baking parameters and release methods of extra hard photoresist for RF MEMS switches

抵抗光刻胶材料科学微电子机械系统溶解纳米技术平版印刷术灰化光电子学光刻复合材料图层（电子）化学量子力学物理物理化学

作者

Shimul C. Saha,Håkon Sagberg,Erik Poppe,Geir Uri Jensen,Tor A. Fjeldly,Trond Sæther

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2007-11-14 卷期号：143 (2): 452-461 被引量：19

标识

DOI：10.1016/j.sna.2007.10.067

求助该文献

最长约 10秒，即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Luojia发布了新的文献求助10

刚刚; 默默苑博完成签到，获得积分20

刚刚; JamesPei上传了应助文件

1秒前; 实验室的应助被孟德采纳，获得30

1秒前; 无花果的应助被一派倾城采纳，获得10

1秒前; creed完成签到，获得积分10

1秒前; 复杂雪一关闭了复杂雪一的文献求助

2秒前; 孙振亚发布了新的文献求助10

3秒前; Owen上传了应助文件

3秒前; 搞份炸鸡778关闭了搞份炸鸡778的文献求助

4秒前; 李健上传了应助文件

4秒前; xuesensu完成签到，获得积分10

4秒前; 充电宝的应助被任性的外套采纳，获得10

5秒前; 沉默安波发布了新的文献求助10

6秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

6秒前; 搜集达人的应助被酷酷紫易采纳，获得20

6秒前; 科研通AI6.1的应助被小淘淘采纳，获得10

6秒前; 陌欣冉完成签到，获得积分10

6秒前; 深情安青的应助被545采纳，获得10

7秒前; 小马甲上传了应助文件

7秒前; 研友_VZG7GZ的应助被mmm采纳，获得10

7秒前; 无花果上传了应助文件

8秒前; Luojia完成签到，获得积分10

8秒前; 情怀上传了应助文件

8秒前; 科研通AI6.1上传了应助文件

8秒前; 要减肥的便当完成签到，获得积分10

8秒前; QLLW上传了应助文件

8秒前; 善学以致用上传了应助文件

8秒前; 上官若男上传了应助文件

8秒前; oseh完成签到，获得积分10

9秒前; 小t001发布了新的文献求助10

9秒前; 茜茜发布了新的文献求助10

9秒前; ning发布了新的文献求助10

9秒前; Akim的应助被reck采纳，获得10

9秒前; 快乐的凝天完成签到，获得积分10

9秒前; 冷酷的孤容完成签到，获得积分10

10秒前; 内向语梦上传了应助文件

10秒前; CipherSage的应助被MG_aichy采纳，获得10

10秒前; 漾漾发布了新的文献求助10

11秒前; Jas完成签到，获得积分10

11秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Kinesiophobia : a new view of chronic pain behavior 3000; Molecular Biology of Cancer: Mechanisms, Targets, and Therapeutics 1100; Signals, Systems, and Signal Processing 510; Discrete-Time Signals and Systems 510; Proceedings of the Fourth International Congress of Nematology, 8-13 June 2002, Tenerife, Spain 500; Le genre Cuphophyllus (Donk) st. nov 500

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 5939984; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 7051908; 关于积分的说明 15880666; 捐赠科研通 5070034; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2727037; 邀请新用户注册赠送积分活动 1685588; 关于科研通互助平台的介绍 1612786

今日热心研友

个性的紫菜

蓝莓橘子酱

你嵙这个期刊没买

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通