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Optimization of magnetron deposition process for formation of high-quality oriented ZnO films

腔磁控管 沉积（地质） 材料科学 溅射沉积 光电子学 过程（计算） 质量（理念） 工程物理 纳米技术 薄膜 计算机科学 工程类 溅射 地质学 物理 量子力学 操作系统 古生物学 沉积物
作者
E. R. Arakelova,A. M. Khachatryan,K. E. Avjyan,Armen Kteyan
出处
期刊：Journal of contemporary physics / [Springer Nature]
日期：2012-06-25 卷期号：47 (4): 181-188 被引量：3
标识
DOI：10.3103/s1068337212040068
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