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Optimization of magnetron deposition process for formation of high-quality oriented ZnO films

腔磁控管沉积（地质）材料科学溅射沉积光电子学过程（计算）质量（理念）工程物理纳米技术薄膜计算机科学工程类溅射地质学物理量子力学操作系统古生物学沉积物

作者

E. R. Arakelova,A. M. Khachatryan,K. E. Avjyan,Armen Kteyan

出处

期刊：Journal of contemporary physics / [Springer Nature]
日期：2012-06-25 卷期号：47 (4): 181-188 被引量：3

标识

DOI：10.3103/s1068337212040068

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