Nucleation And Growth Of Thin Films

成核 薄膜 图层(电子) 材料科学 逐层 晶体生长 岛屿生长 光学 纳米技术 热力学 物理 外延
作者
R.W. Vook
出处
期刊:Optical Engineering [SPIE - International Society for Optical Engineering]
卷期号:23 (3) 被引量:17
标识
DOI:10.1117/12.7973291
摘要

There are three basic thin-film growth modes: Volmer-Weber (island), Frank and van der Merwe (layer), and Stranski-Krastanov (layer followed by island). Examples of these growth modes and variations thereof are presented, and the theories governing the initial and later stages of growth in each case are reviewed. Some useful applications of the theories are also given.
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