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Plasma-assisted electron beam evaporation of low stress aluminium films for MEMS applications

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作者
Shreyas P Bhat,Khawaja Nizammuddin Subhani,P Savitha
出处
期刊：ISSS journal of micro and smart systems [Springer Nature]
日期：2021-06-01 卷期号：10 (1): 33-39
标识
DOI：10.1007/s41683-021-00067-4
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