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Chemical process of silicon epitaxial growth in a SiHCl3–H2 system
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作者
Hitoshi Habuka,
Yasuaki Aoyama,
S. Akiyama,
Toru Otsuka,
Wei-Feng Qu,
Manabu Shimada,
Kikuo Okuyama
出处
期刊：
Journal of Crystal Growth
[Elsevier]
日期：1999-11-01
卷期号：207 (1-2): 77-86
被引量：61
标识
DOI：10.1016/s0022-0248(99)00360-7
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