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Magnetron configurations dependent surface properties of SnO2 thin films deposited by sputtering process

X射线光电子能谱薄膜溅射沉积材料科学腔磁控管溅射分析化学（期刊）扫描电子显微镜化学化学工程纳米技术复合材料色谱法工程类

作者

Amit Kumar Gangwar,Rahul Godiwal,Jyoti Jaiswal,Vishal Baloria,Prabir Pal,Govind Gupta,Preetam Singh

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2020-04-03 卷期号：177: 109353-109353 被引量：26

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2020.109353

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