Ion-cut lithium niobate on insulator technology: Recent advances and perspectives

铌酸锂 光子学 材料科学 纳米技术 光子集成电路 薄脆饼 光电子学 集成电路 计算机科学
作者
Yuechen Jia,Lei Wang,Feng Chen
出处
期刊:Applied physics reviews [American Institute of Physics]
卷期号:8 (1) 被引量:200
标识
DOI:10.1063/5.0037771
摘要

Lithium niobate (LiNbO3 or LN) is a well-known multifunctional crystal that has been widely applied in various areas of photonics, electronics, and optoelectronics. In the past decade, “ion-cut” has become the key technique to produce wafer-size, high-quality, sub micrometer-thickness crystalline LiNbO3 thin films, i.e., lithium-niobate-on-insulator (LNOI). With the rapid development of LNOI technology and the tremendous progress of associated surface structuring and engineering techniques over the last few years, many novel chip-integrated LiNbO3-based devices and applications with reduced cost, complexity, power, and size, are demonstrated, boosting the resurgence of integrated photonics based on this material. The remarkable achievements are largely facilitated by the most recent technological progress in photonic integration and performance optimization of LNOI on-chip devices, such as high-quality surface domain engineering, advanced heterogeneous integration technology, powerful dispersion engineering, fine polishing lithography, and wafer-scale fabrication. Accordingly, batch-compatible chip-integrated platforms for more complex photonic integrated circuits, such as quantum optical circuits, are within reach. This article provides a timely review of the key advances in LNOI technology and a reasonable perspective on the near-future directions for both integrated photonics and applied physics communities.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

祝大家在新的一年里科研腾飞
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
CipherSage应助笋尖266采纳,获得30
刚刚
Lanmeiwei发布了新的文献求助10
刚刚
1秒前
1秒前
赛韓吧完成签到 ,获得积分10
1秒前
MC发布了新的文献求助10
2秒前
Zz发布了新的文献求助10
3秒前
嚯嚯完成签到,获得积分10
3秒前
4秒前
连接服务器失败完成签到,获得积分10
4秒前
jiaojiao完成签到,获得积分10
4秒前
飞云发布了新的文献求助10
5秒前
7秒前
锦鲤发布了新的文献求助10
7秒前
科研通AI2S应助纫之以佩采纳,获得10
7秒前
科研通AI2S应助liu采纳,获得10
8秒前
luca发布了新的文献求助30
8秒前
10秒前
yy发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
10秒前
11秒前
温婉的猫咪完成签到 ,获得积分20
11秒前
wanci应助鲸鱼采纳,获得10
11秒前
溪泉发布了新的文献求助10
12秒前
桐桐应助Yqx采纳,获得10
13秒前
13秒前
慕青应助飞云采纳,获得10
14秒前
15秒前
bhyughhij发布了新的文献求助10
15秒前
旺旺老师发布了新的文献求助10
16秒前
张yy完成签到,获得积分10
16秒前
16秒前
白果发布了新的文献求助10
17秒前
眼睛大花生完成签到,获得积分10
17秒前
研友_xLOMQZ完成签到,获得积分10
18秒前
CipherSage应助看起来不太强采纳,获得10
19秒前
正直的小猫咪完成签到,获得积分10
19秒前
热情的人杰完成签到,获得积分10
19秒前
joshar发布了新的文献求助10
20秒前
高分求助中
Востребованный временем 2500
The Three Stars Each: The Astrolabes and Related Texts 1500
Les Mantodea de Guyane 1000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 990
Field Guide to Insects of South Africa 660
Foucault's Technologies Another Way of Cutting Reality 500
A Simple Constitutive Description for Cellular Concrete 500
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 物理化学 催化作用 细胞生物学 免疫学 冶金
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3394877
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3004994
关于积分的说明 8816263
捐赠科研通 2691700
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1474458
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 681912
邀请新用户注册赠送积分活动 675062