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A critical review on performance, reliability, and fabrication challenges in nanosheet FET for future analog/digital IC applications

纳米片可靠性（半导体）制作计算机科学电子工程材料科学可靠性工程工程类纳米技术医学物理功率（物理）替代医学病理量子力学

作者

Sresta Valasa,Shubham Tayal,Laxman Raju Thoutam,J. Ajayan,Sandip Bhattacharya

出处

期刊：Micro and nanostructures 日期：2022-08-28 卷期号：170: 207374-207374 被引量：18

标识

DOI：10.1016/j.micrna.2022.207374

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