Design, Test and Evaluation of a Novel Die-Attach Structure for Packaging Stress Suppression of MEMS Resonant Accelerometers

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作者
Yukun Ma,Haonan Li,Yonggang Yin,Rong Zhang,Fengtian Han
出处
期刊:IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/tim.2024.3470046
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