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Design, Test and Evaluation of a Novel Die-Attach Structure for Packaging Stress Suppression of MEMS Resonant Accelerometers

加速度计模具（集成电路）微电子机械系统压力（语言学）电子工程集成电路封装电子包装材料科学结构工程工程类电气工程计算机科学机械工程集成电路光电子学语言学操作系统哲学

作者

Yukun Ma,Haonan Li,Yonggang Yin,Rong Zhang,Fengtian Han

出处

期刊：IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1

标识

DOI：10.1109/tim.2024.3470046

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