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Inhibitor-Free Area-Selective Deposition of Titanium Nitride

氮化钛 钛 沉积（地质） 材料科学 氮化物 纳米技术 冶金 地质学 古生物学 图层（电子） 沉积物
作者
Damon B. Farmer,Marinus Hopstaken,Steve Molis,Charles Tabachnick,Peter Kerns,Leonidas E. Ocola,Noel Arellano,Gerald W. Gibson
出处
期刊：Chemistry of Materials [American Chemical Society]
日期：2025-02-06
标识
DOI：10.1021/acs.chemmater.4c03092
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