pFed-Litho: Lithography Modeling With a Personalized Federated Learning Based Framework

平版印刷术 计算机科学 纳米技术 材料科学 光电子学
作者
Qing Zhang,Yuhang Zhang,Rui Chen,Wei Lu,Huajie Huang,Zhiqiang Li,Yongfu Li
出处
期刊:IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/tcad.2024.3513264

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