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Influence of oxygen addition on the structure, mechanical and thermal properties of TiSiN coating

涂层 氧气 热的 材料科学 化学工程 纳米技术 化学 热力学 物理 工程类 有机化学
作者
Huasheng Zhu,Jian W. Du,Jie Zhang,Jian Zhou
出处
期刊:Vacuum [Elsevier]
卷期号:: 114131-114131
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2025.114131

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