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Design of a MEMS Accelerometer in COMSOL Multiphysics and a Pickup Circuit Model in Matlab Simulink

多物理加速度计 MATLAB语言微电子机械系统皮卡计算机科学有限元法电子工程机械工程工程类物理结构工程量子力学人工智能图像（数学）操作系统

作者

Semyon Stolbov,Vera Loboda

标识

DOI：10.1109/eexpolytech62224.2024.10755840

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