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Direct One-Step Plasma-Chemical Synthesis of Nanostructured β-Ga2O3–GaN Thin Films of Various Compositions

化学 等离子体 纳米技术 化学工程 工程类 材料科学 量子力学 物理
作者
Leonid Mochalov,Mikhail Kudryashov,M. A. Vshivtsev,Yu. P. Kudryashova,I. O. Prokhorov,A. V. Knyazev,А. V. Аlmaev,Nikita Yakovlev,Е. В. Черников,N. N. Erzakova
出处
期刊：High Energy Chemistry [Springer Nature]
日期：2024-05-13 卷期号：58 (3): 322-327
标识
DOI：10.1134/s0018143924700139
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