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Recent advancements in physical and chemical MEMS sensors

微电子机械系统 计算机科学 化学传感器 纳米技术 系统工程 工程类 材料科学 物理 电极 量子力学
作者
Yo Tanaka
出处
期刊：Analyst [The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 卷期号：149 (13): 3498-3512
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d4an00182f
摘要
This review classifies MEMS sensors (both physical and chemical) in terms of their targets and explains their fundamental principles and trends. It also introduces the parallelization of different types of sensors or sensing functions.
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