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Wet and Dry Etching of Compound Semiconductors

干法蚀刻 材料科学 半导体 化合物半导体 蚀刻(微加工) 光电子学 纳米技术 外延 图层(电子)
作者
S. J. Pearton
出处
期刊:Elsevier eBooks [Elsevier]
卷期号:: 370-441 被引量:8
标识
DOI:10.1016/b978-081551374-2.50010-7
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