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Atomic simulation of textured silicon carbide surface ultra-precision polishing

抛光材料科学机械加工沟槽（工程）碳化硅碳化物纹理（宇宙学）表面光洁度复合材料冶金计算机科学图像（数学）人工智能

作者

Xiaosong Meng,Weilong Wu,Bokai Liao,Houfu Dai

出处

期刊：Ceramics International [Elsevier]
日期：2022-03-03 卷期号：48 (12): 17034-17045 被引量：35

标识

DOI：10.1016/j.ceramint.2022.02.259

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