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Improved β-Ga2O3 Solar-Blind Deep-Ultraviolet Thin-Film Transistor Based on Si-Doping

薄膜晶体管 光电子学 材料科学 响应度 光电流 光电探测器 兴奋剂 暗电流 多晶硅 紫外线 晶体管 薄膜 光电效应 电压 电气工程 纳米技术 图层（电子） 工程类
作者
Leyun Shen,Xinhua Pan,Tao Zhang,Yunze Liu,Ning Wang,Peng Wang,Fengzhi Wang,Guangmin Zhu,Jiangbo Wang,Zhizhen Ye
出处
期刊：Journal of Electronic Materials [Springer Nature]
日期：2022-04-13 卷期号：51 (7): 3579-3588 被引量：10
标识
DOI：10.1007/s11664-022-09599-3
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