Form measurement of a 0.1 mm diameter wire with a chromatic confocal sensor, with associated uncertainty evaluation

计量学 色阶 测量不确定度 共焦 材料科学 光学 计算机科学 色差 物理 量子力学 核物理学
作者
Claude Sanz,Claudiu Giusca,Paul Morantz,A F García Marín,Ahmed Chérif,Jürgen E. Schneider,H Mainaud-Durand,Paul Shore,Norbert Steffens
出处
期刊:Measurement Science and Technology [IOP Publishing]
卷期号:29 (7): 074010-074010 被引量:8
标识
DOI:10.1088/1361-6501/aac352
摘要

The accurate characterisation of a copper–beryllium wire with a diameter of 0.1 mm is one of the steps to increase the precision of future accelerators' pre-alignment. Novelties in measuring the wire properties were found in order to overcome the difficulties brought by its small size. This paper focuses on an implementation of a chromatic-confocal sensor leading to a sub-micrometric uncertainty on the form measurements. Hence, this text reveals a high-accuracy metrology technique applicable to objects with small diameters: it details the methodology, describes a validation by comparison with a reference and specifies the uncertainty budget of this technique.

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