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Anti-reflection coating at 550 nm fabricated by atomic layer deposition

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作者
Yanghui Li,Weidong Shen,Yueguang Zhang,Hao Xiang,H. Fan,Xu Liu
出处
期刊：Chinese Optics Letters [Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics]
日期：2013-01-01 卷期号：11 (S1): S10205-S10205
标识
DOI：10.3788/col201311.s10205
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