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Gamma and proton irradiation effects and thermal stability of electrical characteristics of metal-oxide-silicon capacitors with atomic layer deposited Al2O3 dielectric

材料科学 钝化 电容器 辐照 硅 氧化物 电介质 热稳定性 分析化学（期刊） 图层（电子） 光电子学 复合材料 电压 化学 电气工程 冶金 物理 工程类 有机化学 核物理学 色谱法
作者
J.M. Rafı́,G. Pellegrini,V. Fadeyev,Z. Galloway,H. F-W. Sadrozinski,M. Christophersen,Bernard F. Phlips,D. Lynn,J. Kierstead,M. R. Hoeferkamp,I. Gorelov,P. Palni,R. Wang,S. Seidel
出处
期刊：Solid-state Electronics [Elsevier BV]
日期：2015-12-11 卷期号：116: 38-45 被引量：15
链接
sciencedirect.com osti.gov osti.gov handle.net csic.esdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.sse.2015.11.029
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