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Features of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge. II. Symmetric Discharge Completely Filling Vacuum Chamber under Symmetric and Asymmetric Excitation

激发反对称关系物理多物理原子物理学材料科学电容感应领域（数学）等离子体电磁场机械电气工程有限元法数学量子力学纯数学数学物理热力学工程类

作者

S. A. Dvinin,О. А. Синкевич,З. А. Кодирзода,Д. К. Солихов

出处

期刊：Plasma Physics Reports [Springer Nature]
日期：2021-01-01 卷期号：47 (1): 28-47 被引量：6

标识

DOI：10.1134/s1063780x21010050

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