Features of Electromagnetic Field Excitation in a Capacitive HF Discharge. II. Symmetric Discharge Completely Filling Vacuum Chamber under Symmetric and Asymmetric Excitation

激发 反对称关系 物理 多物理 原子物理学 材料科学 电容感应 领域(数学) 等离子体 电磁场 机械 电气工程 有限元法 数学 量子力学 纯数学 数学物理 热力学 工程类
作者
S. A. Dvinin,О. А. Синкевич,З. А. Кодирзода,Д. К. Солихов
出处
期刊:Plasma Physics Reports [Springer Nature]
卷期号:47 (1): 28-47 被引量:6
标识
DOI:10.1134/s1063780x21010050

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