Investigation of Polymer-Coated Film Bulk Acoustic Wave Resonator for Acetone Vapor Detection

材料科学 谐振器 涂层 光电子学 电极 图层(电子) 聚合物 丙酮 复合材料 物理化学 有机化学 化学
作者
Jingjing Wang,Da Chen
标识
DOI:10.1109/greencom-ithings-cpscom.2013.307
摘要

In this paper, we fabricate the polymethylmethacrylate (PMMA) coated film bulk acoustic wave resonator (FBAR) gas sensors and investigate the sensing performance. The FBARs work at near 2.48 GHz and have high performances. The 10~70 nm thick PMMA layer were deposited on the surface of the FBARs as the sensitive coating. The influence of the thickness of PMMA on the sensing performances is investigated in detail. The experimental results indicate that the PMMA coated FBARs can be quite sensitive to acetone vapor. After PMMA coating, the resonance frequency and Q-factor are lineally decreased due to the added mass loading onto the electrode. The PMMA coated FBAR is able to detect acetone vapor as low as 0.04% with a gas sensitivity as high as 685 kHz/%. These PMMA coated FBARs could be further developed as a handheld sensor for vapor detection.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
阳枝甘禄完成签到,获得积分10
1秒前
mellow发布了新的文献求助10
1秒前
凤梨发布了新的文献求助10
2秒前
2秒前
wuyu完成签到 ,获得积分10
2秒前
小蘑菇应助光亮的天真采纳,获得10
5秒前
迷途羔羊完成签到 ,获得积分10
6秒前
李振博发布了新的文献求助10
8秒前
FF完成签到 ,获得积分10
9秒前
10秒前
11秒前
11秒前
13秒前
15秒前
16秒前
万能图书馆应助lch采纳,获得30
17秒前
追寻的语雪完成签到,获得积分10
18秒前
多喝水发布了新的文献求助20
18秒前
巧稚一生完成签到 ,获得积分10
18秒前
ABCDE完成签到,获得积分10
19秒前
叫我魔王大人完成签到,获得积分10
19秒前
在水一方应助腼腆的猎豹采纳,获得30
21秒前
和花花发布了新的文献求助10
23秒前
猪猪hero应助卜婉君采纳,获得10
23秒前
小满吖发布了新的文献求助10
24秒前
25秒前
25秒前
科研通AI2S应助SteveRogers采纳,获得10
25秒前
kingcoming发布了新的文献求助10
26秒前
hzwdm1完成签到,获得积分10
27秒前
Akim应助Aurora采纳,获得10
28秒前
chensongyu发布了新的文献求助10
28秒前
听听发布了新的文献求助10
30秒前
科研通AI2S应助茂飞采纳,获得10
32秒前
33秒前
34秒前
小二郎应助嘻嘻嘻采纳,获得10
35秒前
丘比特应助kingcoming采纳,获得10
37秒前
南冥完成签到 ,获得积分10
37秒前
复杂的兔子完成签到,获得积分10
38秒前
高分求助中
The Mother of All Tableaux Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 2400
Ophthalmic Equipment Market by Devices(surgical: vitreorentinal,IOLs,OVDs,contact lens,RGP lens,backflush,diagnostic&monitoring:OCT,actorefractor,keratometer,tonometer,ophthalmoscpe,OVD), End User,Buying Criteria-Global Forecast to2029 2000
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind 1000
Cognitive Neuroscience: The Biology of the Mind (Sixth Edition) 1000
Optimal Transport: A Comprehensive Introduction to Modeling, Analysis, Simulation, Applications 800
Official Methods of Analysis of AOAC INTERNATIONAL 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3959759
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3506016
关于积分的说明 11127457
捐赠科研通 3237969
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1789411
邀请新用户注册赠送积分活动 871741
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 803019