亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Metrology for the next generation of semiconductor devices

计量学 集成电路 平版印刷术 尺寸计量学 半导体器件制造 计算机科学 半导体工业 半导体器件 纳米技术 数码产品 系统工程 工程类 电气工程 制造工程 材料科学 物理 薄脆饼 光电子学 光学 图层(电子)
作者
Ndubuisi G. Orji,Mustafa Badaroglu,Brian M. Barnes,C. Beitia,B Bunday,Umberto Celano,R. Joseph Kline,Mark Neisser,Yaw S. Obeng,András Vladár
出处
期刊:Nature electronics [Springer Nature]
卷期号:1 (10): 532-547 被引量:327
标识
DOI:10.1038/s41928-018-0150-9
摘要

The semiconductor industry continues to produce ever smaller devices that are ever more complex in shape and contain ever more types of materials. The ultimate sizes and functionality of these new devices will be affected by fundamental and engineering limits such as heat dissipation, carrier mobility and fault tolerance thresholds. At present, it is unclear which are the best measurement methods needed to evaluate the nanometre-scale features of such devices and how the fundamental limits will affect the required metrology. Here, we review state-of-the-art dimensional metrology methods for integrated circuits, considering the advantages, limitations and potential improvements of the various approaches. We describe how integrated circuit device design and industry requirements will affect lithography options and consequently metrology requirements. We also discuss potentially powerful emerging technologies and highlight measurement problems that at present have no obvious solution. This Review Article examines state-of-the-art metrology methods for integrated circuits and highlights how new integrated circuit device design and industry requirements affect lithography options and consequently metrology requirements.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
远坂时辰发布了新的文献求助10
1秒前
archer01发布了新的文献求助10
3秒前
科研通AI2S应助霸气乐菱采纳,获得10
5秒前
8秒前
cxlcxl发布了新的文献求助10
13秒前
14秒前
16秒前
栀初发布了新的文献求助10
19秒前
22秒前
26秒前
JavedAli完成签到,获得积分10
27秒前
28秒前
cxlcxl完成签到,获得积分20
29秒前
30秒前
36秒前
36秒前
41秒前
凶狠的秀发完成签到,获得积分20
43秒前
干净的芮完成签到,获得积分10
46秒前
淡然的咖啡豆完成签到 ,获得积分10
52秒前
小旭不会飞完成签到,获得积分10
52秒前
53秒前
54秒前
小马甲应助科研通管家采纳,获得10
54秒前
英俊的铭应助科研通管家采纳,获得10
54秒前
54秒前
56秒前
56秒前
56秒前
pppshoot发布了新的文献求助10
1分钟前
捡垃圾的小破烂完成签到,获得积分10
1分钟前
京羊完成签到 ,获得积分10
1分钟前
岳莹晓完成签到 ,获得积分10
1分钟前
1分钟前
数值分析完成签到 ,获得积分10
1分钟前
FyNic发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
1分钟前
FyNic完成签到,获得积分10
1分钟前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Cognitive Paradigms in Knowledge Organisation 2000
Effect of reactor temperature on FCC yield 2000
Very-high-order BVD Schemes Using β-variable THINC Method 1020
Near Infrared Spectra of Origin-defined and Real-world Textiles (NIR-SORT): A spectroscopic and materials characterization dataset for known provenance and post-consumer fabrics 610
Promoting women's entrepreneurship in developing countries: the case of the world's largest women-owned community-based enterprise 500
Shining Light on the Dark Side of Personality 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3307266
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2940978
关于积分的说明 8500041
捐赠科研通 2615243
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1428784
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 663542
邀请新用户注册赠送积分活动 648382