Mechanical Stress Distribution and the Effects of Process Parameter Changes in Vertical NAND Flash Memory

材料科学 闪光灯(摄影) 退火(玻璃) 压力(语言学) 过程(计算) 闪存 复合材料 冶金 计算机科学 光学 嵌入式系统 语言学 哲学 物理 操作系统
作者
Yeon Namkoong,Hyung Jun Yang,Yun‐Heub Song
出处
期刊:Journal of Nanoscience and Nanotechnology [American Scientific Publishers]
卷期号:17 (7): 5055-5060 被引量:10
标识
DOI:10.1166/jnn.2017.13739
摘要

We investigated the stress distribution and electrical characteristics according to changes in the process parameters in a vertical NAND (VNAND) flash cell with a poly-Si channel. We used technology computer-aided design to confirm that process parameters changes affect the stress distribution in a VNAND flash cell and the stress in the poly-Si channel. Also, we found that, as the stress distributions changed, the electrical characteristics depended significantly on the annealing temperature, channel hole angle, and tungsten intrinsic stress in a VNAND flash cell. Thus, the industry needs to develop and apply better process parameters and acquire a better understanding of how the electrical characteristics of a VNAND flash cell depend on those parameters.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
1秒前
4秒前
SciGPT应助q792309106采纳,获得10
4秒前
5秒前
上官若男应助卖萌的秋田采纳,获得10
5秒前
袁超发布了新的文献求助30
6秒前
张雯思发布了新的文献求助10
6秒前
JJ发布了新的文献求助10
6秒前
旧梦完成签到 ,获得积分10
7秒前
tramp应助xiamu采纳,获得20
8秒前
xingxingxing完成签到,获得积分10
9秒前
甜甜的悲发布了新的文献求助10
9秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
9秒前
张钦奎发布了新的文献求助10
10秒前
10秒前
zhjg发布了新的文献求助10
11秒前
阿超完成签到,获得积分10
11秒前
FashionBoy应助凪凪采纳,获得10
13秒前
13秒前
wanci应助jinzhen采纳,获得10
14秒前
13发布了新的文献求助10
14秒前
小蘑菇应助甜甜的悲采纳,获得10
16秒前
GL发布了新的文献求助10
17秒前
袁超完成签到,获得积分10
17秒前
17秒前
忧郁盼夏发布了新的文献求助10
18秒前
18秒前
q792309106完成签到,获得积分10
19秒前
乖猫要努力应助郭小宝采纳,获得20
19秒前
q792309106发布了新的文献求助10
23秒前
23秒前
凪凪发布了新的文献求助10
23秒前
23秒前
情怀应助忧郁盼夏采纳,获得10
24秒前
wx完成签到,获得积分10
25秒前
26秒前
zyh完成签到 ,获得积分10
26秒前
26秒前
28秒前
30秒前
高分求助中
A new approach to the extrapolation of accelerated life test data 1000
ACSM’s Guidelines for Exercise Testing and Prescription, 12th edition 500
‘Unruly’ Children: Historical Fieldnotes and Learning Morality in a Taiwan Village (New Departures in Anthropology) 400
Indomethacinのヒトにおける経皮吸収 400
Phylogenetic study of the order Polydesmida (Myriapoda: Diplopoda) 370
基于可调谐半导体激光吸收光谱技术泄漏气体检测系统的研究 350
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 320
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3989334
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3531428
关于积分的说明 11253936
捐赠科研通 3270119
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1804887
邀请新用户注册赠送积分活动 882087
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 809173