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Interaction between abrasive particles and film surfaces in low down force Cu CMP

材料科学 化学机械平面化 铜 钝化 磨料 泥浆 抛光 冶金 复合材料 图层（电子）
作者
Yuchun Wang,Isaac Zomora,Joe Hawkins,Renjie Zhou,Fred Sun,Roy Martinez,Jian Zhang,Bin Lü,Shumin Wang
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2004-01-01 卷期号：816 被引量：4
标识
DOI：10.1557/proc-816-k4.8
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