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Experimental and theoretical analysis of single-sided and double-sided chemical mechanical polishing of sapphire wafers

蓝宝石化学机械平面化抛光薄脆饼材料科学表面粗糙度表面完整性表面光洁度光电子学复合材料光学激光器物理

作者

Zhongyang Li,Zhaohui Deng,Jimin Ge,Tao Liu,Linlin Wan

出处

期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology [Springer Nature]
日期：2022-01-14 卷期号：119 (7-8): 5095-5106 被引量：9

标识

DOI：10.1007/s00170-021-08404-5

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