Recent Advances in Electroplating of Through-Hole Copper Interconnection

电镀 互连 镀铜 材料科学 化学工程 工艺工程 电镀(地质) 电化学 冶金 计算机科学 铜互连 电解质
作者
Yuanhang Zhang,Anmin Liu,Peixia Yang,Jinqiu Zhang
出处
期刊:Electrocatalysis [Springer Nature]
卷期号:12 (6): 619-627 被引量:13
标识
DOI:10.1007/s12678-021-00687-2
摘要

With the gradual development of high density and high integration of printed circuit board (PCB), the electroplating technology of PCB has been widely paid attention by researchers and enterprises, among which the through-hole (TH) electroplating of PCB is the key to realize the multi-layer interconnection. Many researches improve the electroplating quality of TH by optimizing the technological conditions. In this paper, the development trend and challenges of TH electroplating are introduced. In addition, the research mechanism of TH electroplating as well as the influence of additives and periodic pulse reverse electroplating on TH electroplating are also introduced. In addition, the methods of studying the electroplating process through numerical model and optimizing the electroplating process are analyzed and summarized. By adding additives to the bath and deeply studying the mechanism of TH electroplating through numerical simulation, the technological parameters of TH interconnection were optimized. The research status of TH electroplating was reviewed. The deposition mechanism was studied by theoretical calculation method and the electrode process was changed by using additives to improve the quality of TH electroplating.Graphical abstract
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