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Scalable CMOS back-end-of-line-compatible AlScN/two-dimensional channel ferroelectric field-effect transistors

材料科学 可扩展性 晶体管 光电子学 场效应晶体管 CMOS芯片 铁电性 非易失性存储器 计算机科学 纳米技术 薄脆饼 生产线后端 电气工程 电子工程 电压 工程类 电介质 数据库
作者
Kwan‐Ho Kim,Seyong Oh,Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu,Jeffrey Zheng,Pariasadat Musavigharavi,Pawan Kumar,Nicholas Trainor,Areej Aljarb,Yi Wan,Hyong Min Kim,Keshava Katti,Seunguk Song,Gwangwoo Kim,Zichen Tang,Jui‐Han Fu,Mariam Hakami,Vincent Tung,Joan M. Redwing,Eric A. Stach,Roy H. Olsson
出处
期刊：Nature Nanotechnology [Nature Portfolio]
日期：2023-05-22 卷期号：18 (9): 1044-1050 被引量：98
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1038/s41565-023-01399-y
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