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Monolithic heterogeneous integration of PbS colloidal quantum dot photodiode on silicon nitride

光电二极管 包层(金属加工) 光电子学 材料科学 氮化硅 量子点 氮化物 纳米技术 图层(电子) 冶金
作者
Chengzong Pang,Yuping Deng,Ezat Kheradmand,Robin Petit,Lukas Elsinger,Christophe Detavernier,Pieter Geiregat,Zeger Hens,Dries Van Thourhout
标识
DOI:10.1364/fio.2022.jw4a.55
摘要

Monolithic integration of PbS colloidal quantum dot photodiodes on silicon nitride waveguides is demonstrated for the first time. Waveguide width and top cladding thickness are designed to meet the low saturation threshold of optical power.

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