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Quartz Resonant Pressure Sensor Based on Bow-Inspired Rationally Designed Device Configuration

压力传感器 线性 校准 灵敏度(控制系统) 音叉 磁滞 计算机科学 工程类 电子工程 算法 声学 机械工程 数学 物理 量子力学 统计 振动
作者
Liangwei Hu,Guirong Wu,Yunlong Zhao,Chenyang Xue,Libo Gao
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:23 (22): 27076-27086 被引量:1
标识
DOI:10.1109/jsen.2023.3317417
摘要

Quartz resonant pressure sensors have shown tremendous potential in aerospace, biomedical, and traditional industries. Nevertheless, the complexity of assembly poses a significant challenge to their cost, while high-pressure sensors bring additional limitations. To overcome these challenges, this study introduces a novel quartz resonant pressure sensor inspired by the principle of the traditional bow and arrow structure. The proposed sensor design can measure high pressures and provide real-time output. A pressure conversion unit is integrated into the sensor design to convert high-pressure inputs into low displacement, simplifying the transmission to the quartz double-ended tuning fork (DETF). The output frequency is directly displayed in real-time by an embedded display device. The feasibility of the sensor design was established through rigorous theoretical analysis and simulations. Additionally, a calibration test platform was developed to validate the sensor's performance. The experimental results demonstrated that the proposed sensor design exhibits a high sensitivity of 53.8 Hz $\cdot $ MPa $^{-{1}}$ , minimal nonlinearity of 0.08% full scale (FS), low hysteresis of 0.14% FS, high repeatability of 0.21% FS, and great comprehensive accuracy of 0.26% FS within the range of 0–20 MPa. The sensor shows excellent sensitivity, linearity, and hysteresis characteristics, which highlight its potential for various applications.
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