Low-temperature atomic layer etching of platinum via sequential wet-like reactions of plasma oxidation and complexation

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作者
Thi‐Thuy‐Nga Nguyen,Daijiro Akagi,Takeshi Okato,Kenji Ishikawa,Masaru Hori
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:: 162325-162325 被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2025.162325

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