SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Wafer size effect on material removal rate in copper CMP process
薄脆饼
铜
材料科学
冶金
过程(计算)
复合材料
纳米技术
计算机科学
操作系统
作者
Minjong Yuh,
Soocheon Jang,
In Ho Park,
Haedo Jeong
出处
期刊:
Journal of Mechanical Science and Technology
[Springer Nature]
日期:2017-06-01
卷期号:31 (6): 2961-2964
被引量:4
标识
DOI:10.1007/s12206-017-0539-9
求助该文献
最长约 10秒,即可获得该文献文件
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
2024年影响因子查询已上线
(2024-6-20)
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M
(2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
领导范儿
的
应助
被
Michelle
采纳,获得
10
刚刚
脑洞疼
上传了
应助文件
1秒前
wanci
上传了
应助文件
1秒前
时光友岸
发布了新的
文献求助
10
2秒前
hbjadekylin
完成签到,获得积分
10
2秒前
yiyi
完成签到,获得积分
20
2秒前
隐形曼青
上传了
应助文件
3秒前
王翎力
发布了新的
文献求助
10
3秒前
momo
完成签到,获得积分
10
4秒前
feijix
完成签到,获得积分
10
4秒前
顺利的安青
完成签到,获得积分
10
4秒前
彭于晏
上传了
应助文件
5秒前
allsan
发布了新的
文献求助
10
5秒前
小小
发布了新的
文献求助
10
5秒前
朴素羊
发布了新的
文献求助
10
6秒前
Guo
关闭了
Guo
的
文献求助
6秒前
我我
发布了新的
文献求助
30
6秒前
无花果
的
应助
被
xixi
采纳,获得
10
6秒前
科研小菜鸡
完成签到
,获得积分
10
7秒前
yiyi
发布了新的
文献求助
10
7秒前
hello小鹿
完成签到,获得积分
10
7秒前
坚强亦丝
上传了
应助文件
7秒前
羁绊
发布了新的
文献求助
10
7秒前
宁灭龙
完成签到,获得积分
10
7秒前
Orange
的
应助
被
潇洒的思雁
采纳,获得
10
8秒前
jjx233
发布了新的
文献求助
10
8秒前
阳佟仇天
完成签到,获得积分
10
8秒前
我不是BOB
发布了新的
文献求助
10
8秒前
领导范儿
上传了
应助文件
8秒前
13
发布了新的
文献求助
10
9秒前
Air
完成签到
,获得积分
10
10秒前
juan
完成签到,获得积分
20
10秒前
桐桐
的
应助
被
小柠檬
采纳,获得
10
10秒前
搜集达人
的
应助
被
甜的瓜
采纳,获得
10
10秒前
小蘑菇
上传了
应助文件
11秒前
lili
发布了新的
文献求助
10
11秒前
善良豌豆
发布了新的
文献求助
30
11秒前
marson
完成签到,获得积分
10
12秒前
魏晓林
完成签到,获得积分
10
12秒前
hyd
发布了新的
文献求助
10
14秒前
高分求助中
歯科矯正学 第7版(或第5版)
1004
SIS-ISO/IEC TS 27100:2024 Information technology — Cybersecurity — Overview and concepts (ISO/IEC TS 27100:2020, IDT)(Swedish Standard)
1000
Smart but Scattered: The Revolutionary Executive Skills Approach to Helping Kids Reach Their Potential (第二版)
1000
Semiconductor Process Reliability in Practice
720
GROUP-THEORY AND POLARIZATION ALGEBRA
500
Mesopotamian divination texts : conversing with the gods : sources from the first millennium BCE
500
Days of Transition. The Parsi Death Rituals(2011)
500
热门求助领域
(近24小时)
化学
医学
生物
材料科学
工程类
有机化学
生物化学
物理
内科学
纳米技术
计算机科学
化学工程
复合材料
基因
遗传学
催化作用
物理化学
免疫学
量子力学
细胞生物学
热门帖子
关注
科研通微信公众号,转发送积分
3232165
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助?
2879148
关于积分的说明
8209365
捐赠科研通
2546523
什么是DOI,文献DOI怎么找?
1376204
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明
647545
邀请新用户注册赠送积分活动
622793
今日热心研友
pcr163
38
2320
不配.
103
1460
36456657
91
1050
HCLonely
122
700
tuanheqi
38
1520
VDC
65
1250
Endlessway
61
1120
嗯哼
69
1030
8R60d8
86
680
杳鸢
44
1060
lalala
69
780
彭于彦祖
41
1000
pluto
74
650
乐乐乐乐乐乐
62
670
秀丽烨霖
36
690
prigogin
1000
库昊的假粉丝
980
寻道图强
950
Henry
810
清脆的土豆
79
注:热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10