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A practical method for the determination of the Young's modulus and residual stresses of PVD thin films

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作者

M. D. Tran,J. Poublan,J.H. Dautzenberg

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier]
日期：1997-10-01 卷期号：308-309: 310-314 被引量：25

链接

tue.nl tue.nl tue.nldoi.org

标识

DOI：10.1016/s0040-6090(97)00560-9

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