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Comparative study on performance of AlGaN/GaN MS-HEMTs with SiNx, SiOx, and SiNO surface passivation

钝化跨导高电子迁移率晶体管材料科学光电子学等离子体增强化学气相沉积击穿电压晶体管氮化镓泄漏（经济）化学气相沉积电压图层（电子）电气工程纳米技术工程类经济宏观经济学

作者

K. Y. Cheng,Shang‐Chi Wu,Chia-Jui Yu,Tongwen Wang,Jyun-Hao Liao,Meng‐Chyi Wu

出处

期刊：Solid-state Electronics [Elsevier]
日期：2020-04-24 卷期号：170: 107824-107824 被引量：14

标识

DOI：10.1016/j.sse.2020.107824

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