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Epitaxial hillocks defects caused by subsurface damage from InAs substrate
小丘
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作者
Lijie Liu,
Youwen Zhao,
Yong Huang,
Jun Wang,
Jun Yang,
Wei Lu
出处
期刊：
Microelectronics Reliability
[Elsevier BV]
日期：2024-04-04
卷期号：156: 115376-115376
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2024.115376
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