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Evaluation of chemical mechanical polishing characteristics using mixed abrasive slurry: A study on polishing behavior and material removal mechanism

抛光化学机械平面化磨料泥浆材料科学表面粗糙度钻石无定形固体冶金复合材料表面光洁度化学工程化学结晶学工程类

作者

X. Zhu,Juxuan Ding,Zhangchao Mo,Xuesong Jiang,Jifei Sun,Hao Fu,Yuziyu Gui,Boyuan Ban,Ling Wang,Jian Chen

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-09-03 卷期号：679: 161157-161157 被引量：2

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2024.161157

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