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22‐1: Invited Paper: About a Trench Oxide TFT

薄膜晶体管 沟槽 材料科学 计算机科学 纳米技术 图层(电子)
作者
Do Hyung Kim,Junsung Kim,Young Jun Im,Sang‐Hee Ko Park
出处
期刊:Sid's Digest Of Technical Papers [Wiley]
卷期号:55 (1): 272-275
标识
DOI:10.1002/sdtp.17507
摘要

We introduce new structure of oxide TFT, providing high current in a small footprint and suitable V on . The trench TFT consisted of lateral region of high current path and thin two vertical channels. This can suppress not only channel shortening, also negative V on shift of high current driving oxide TFT.

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